試樣的制備中高頻淬火機電子探針射線顯微分析儀對試樣是有必定請求的。按外形的不合，試樣大年夜致可分為塊狀、粉末及薄膜三類。塊狀試樣的尺寸受儀器的試樣室及試樣座大年夜小限制一般圓形試樣以咖，方形試樣以的*大年夜外面積為好。當要定量分析時，試樣外面的高低不平將降低實驗成果的*性，是以試樣外面必須進行拋光處理。在研磨時不要使試樣外面出現浮雕狀平面，并且不要使研磨劑等殘存在試樣的外面或內部。

　　對于非導體試樣，需在扭轉中高頻淬火機真空室中噴碳或其他金屬，使其外面能導電。噴膜的厚度應。對于粉末試樣，若只需懂得其總的成分，則可用緊縮成型或燒結等辦法把粉末壓在一路，用與分析塊狀試樣雷同辦法進行分析。若需懂得粉末成分，則可在金屬片上涂敷導電涂料，然后把粉末試樣粘在上面，或將試樣包埋在樹脂等資估中，等其硬化后將試樣固定，再對試樣進行研磨和噴鍍。對于薄膜試樣，可用電子顯微鏡萃取復型的辦法萃取試樣，然則保存試樣時要十分當心，應使試樣有較好的平整度，并盡量使萃取物掉落下來，以免影響分析成果。

　　中高頻淬火機處理的試樣斷面邊沿部分進行成分分析拋磨時，請求外面不出現圓角或傾斜，應把試樣鑲嵌起來。因為應用電子探針X射線顯微分析儀的目標主如果懂得組織與其構成元素的關系，一般須要對試樣進行腐化，所以必須賣力地研究試樣與腐化劑之間的關系，盡可能輕輕地進行腐化，以使腐化后的試樣外面不產生化學成分的變更。對試樣進行電子探針分析時，試樣必須接地，是以試樣應具有優(yōu)勝的導電性。